微振动/隔振等级标准（VC标准）
VC（Vibration Criteria）振动等级标准是国际上通用的微振动等级标准，用于衡量和控制建筑物或设备环境中微振动水平。该标准以振动速度值为核心衡量指标，常应用于精密仪器实验室、半导体工厂、医院影像科设备（MRI/CT）、光学车间等对振动敏感的场景。
VC标准振动等级包括：Workshop(ISO)，Office(ISO)，Residential (Day) (ISO)，Operating Theatre(ISO)，VC-A，VC-B，VC-C，VC-D，VC-E，VC-F，VC-G， NIST-A，NIST-A1，VC-H，VC-I，VC-J，VC-K，VC-L，VC-M。详情如下表所示。
| 标准 | 速度µm/s (µin/s) | 振幅µm | 描述 |
|---|---|---|---|
| Workshop (ISO) | 800 (32,000) | N/A | 人能够明确感到振动的程度，其程度适宜于研讨会等不太敏感的场所。 |
| Office (ISO) | 400 (16,000) | N/A | 可见振动。适用于办公室和非敏感区域。 |
| Residential Area (ISO) | 200 (8000) | 75 | 几乎看不到的振动。在大多数情况下，适合睡眠区域。通常足以用于计算机设备，医院恢复室，半导体探针测试设备和小于 40 倍的显微镜。 |
| Operating Theatre (ISO) | 100 (4000) | 25 | 振动不明显。在大多数情况下，适用于外科手术室，100X 显微镜和其他低灵敏度设备。 |
| VC-A | 50 (2000) | 8 | 在大多数情况下，对于光学显微镜而言，足以达到 400X，微量天平，光学天平，接近和投影对准仪等。 |
| VC-B | 25 (1000) | 3 | 适用于线宽为 3 µm 的检查和光刻（包括步进机）。 |
| VC-C | 12.5 (500) | 1-3 | 适用于 1000 倍光学显微镜的标准，详细尺寸为 1 µm 的检查和光刻检查设备（包括中灵敏度电子显微镜），TFT-LCD 步进 / 扫描器工艺。 |
| VC-D | 6.25 (250) | 0.1-0.3 | 在大多数情况下适用于要求最苛刻的设备，包括电子显微镜（TEM 和 SEM）和电子束系统。 |
| VC-E | 3.12 (125) | < 0.1 | 一个具有挑战性的标准。假定足以满足最苛刻的敏感系统的要求，其中包括长距离，基于激光的小型目标系统，纳米级的电子束光刻系统以及其他要求非凡动态稳定性的系统。 |
| VC-F | 1.56 (62.5) | N/A | 适用于极其安静的研究空间；通常在大多数情况下都很难实现，尤其是在洁净室中。不建议将其用作设计标准，仅用于评估。 |
| VC-G | 0.78 (31.3) | N/A | 适用于极其安静的研究空间；通常在大多数情况下都很难实现，尤其是在洁净室中。不建议将其用作设计标准，仅用于评估。 |
| NIST-A | - | - | 在高于 20 Hz 的频率下，NIST-A 标准与 VC-E 曲线相同，但低于此频率时，则保持恒定位移。1 至 20 Hz 之间为 0.025 µm 或 25 nm；20 至 100 Hz 之间为 3.1 µm/s（125 µin /s）。 |
| NIST-A1 | - | - | NIST-A1 标准要求小于 4 Hz 的频率的 RMS 速度为 3 µm/sec（118 µin /sec），而对于 4 Hz < f < 100 Hz 的频率则为 0.75 µm/sec（29.5µin /sec）速度。 |
| VC-H | 0.39 (15.63) | N/A | 适用于极其安静的研究空间；通常在大多数情况下都很难实现，尤其是在洁净室中。不建议将其用作设计标准，仅用于评估。 |
| VC-I | 0.195 (7.81) | N/A | 适用于极其安静的研究空间；通常在大多数情况下都很难实现，尤其是在洁净室中。不建议将其用作设计标准，仅用于评估。 |
| VC-J | 0.097 (3.9) | N/A | 适用于极其安静的研究空间；通常在大多数情况下都很难实现，尤其是在洁净室中。不建议将其用作设计标准，仅用于评估。 |
| VC-K | 0.048 (1.95) | N/A | 适用于极其安静的研究空间；通常在大多数情况下都很难实现，尤其是在洁净室中。不建议将其用作设计标准，仅用于评估。 |
| VC-L | 0.024 (0.98) | N/A | 适用于极其安静的研究空间；通常在大多数情况下都很难实现，尤其是在洁净室中。不建议将其用作设计标准，仅用于评估。 |
| VC-M | 0.012 (0.49) | N/A | 适用于极其安静的研究空间；通常在大多数情况下都很难实现，尤其是在洁净室中。不建议将其用作设计标准，仅用于评估。 |
对于光学平台，普通的阻尼被动隔振平台可达到VC-B的标准，普通的气浮被动隔振平台可达到VC-C的标准，而主动隔振平台则可达到VC-D至VC-F的标准。
隔振选型核心原则为等级决定方案、环境决定配置，无差别选型易出现精度不达标或性能冗余问题。结合全序列振动等级阈值与两类技术性能边界，形成标准化分级选型逻辑，可直接用于工程落地。
4.1 常规民用及低精密等级（Workshop、Office、居民区、手术室、VC-A）：优先选用被动隔振
该类场景振动阈值较高，振动干扰以中高频为主，无严苛的低频振动控制要求。常规橡胶隔振垫、金属弹簧、标准空气弹簧等被动隔振设备，可完全满足精度标准，具备运行稳定、运维压力小、性价比突出的优势。在此类场景使用主动隔振会造成严重性能冗余与项目预算浪费。
适配设备：普通机床、办公区域设备、机房设备、基础医疗设备、400倍以内光学显微镜、微量天平、常规对准仪器等低精密设备。
4.2 VC-B级：稳态工况选用被动隔振，复杂低频环境升级主动隔振
标准稳定工况下，精密空气弹簧、准零刚度隔振器等高性能被动隔振产品，可稳定满足VC-B级精度要求，适配3μm线宽光刻、常规精密检测工艺设备。若场地临近交通干线、轨道交通，或位于高层建筑，存在持续0.5~5Hz低频扰动，被动隔振系统易触发共振效应，导致设备精度失效，此类复杂环境需升级主动隔振方案。
4.3 VC-C级：高性能被动为基础，复杂工况强制升级主动隔振
VC-C级为中高精度过渡等级，主要适配1000倍光学显微镜、1μm微细检测、TFT-LCD精密工艺、中灵敏度电子显微镜等设备。在地面工况稳定、无明显低频晃动的洁净厂房内，采用定制高性能被动隔振系统即可满足使用标准。若场地存在持续性低频振动、工况复杂多变，或设备需长期保持超高检测精度，被动隔振的共振缺陷与低频短板会直接影响工艺良率，必须采用主动隔振方案保障稳定性。
4.4 VC-D级：被动与主动隔振核心选型分水岭
VC-D等级是两类隔振技术的关键性能分界节点，适配透射电镜、扫描电镜、精密半导体工艺等高要求设备。选型需严格结合场地工况判定：场地振动平稳、无低频扰动的优质工况，可采用高端定制被动隔振系统；场地存在低频晃动、振动干扰复杂，且设备需长期高精度连续运行的场景，必须选用主动隔振方案。
4.5 VC-E及以上超高精密等级、NIST系列标准：强制选用主动隔振
VC-E、VC-F、VC-G至VC-M全系列超高精密等级，以及需满足NIST-A、NIST-A1标准的超精密实验室场景，对极低频振动控制要求极为严苛。被动隔振受物理原理限制，无法规避共振、无法抑制极低频微振动，无法达到设计标准。主动隔振凭借全频段减振、智能自适应抵消的核心优势，是纳米级科研、超高精度光刻、激光精密系统等极限场景的唯一可行方案。
