恩迪数控的非标工程师团队，包含：机械设计、电气控制、软件编程、工艺制造、X射线等多领域知识人才的技术团队，可对客户的特殊需求，提供最优方案。

知识

斐索型(Fizeau)激光干涉仪系统具有的环形光源伪迹消除抑制技术，是一种高精度、共光路面形计量干涉仪。其原理是等厚干涉，即由平行光入射到厚度变化均匀、折射率均匀的薄膜上、下表面而形成的干涉条纹。薄膜厚度相同的地方形成同条干涉条纹。

斐索干涉仪专用于检测光学元件的面形、光学镜头的波面像差以及光学材料均匀性等的精密仪器。该系统可用于高精度测量球面面形、曲率半径参数。

结构

卧式斐索型(Fizeau)干涉仪，最为常见。具有结构简单、附件少，测试适用性、灵活性好的优点。

立式斐索型(Fizeau)干涉仪，也很常见（分上照式和下照式）。立式测样具有样品装夹效率高，结构更稳定，抗振性更好的优势，非常适用于光学生产时在现场使用。

立式测样还有一个特殊优势，样品在夹具支撑下，得益于样品自身重力，可以保证球面干涉腔的良好“复位”性。基于这一良好位置复现特点，立式配置干涉仪能以类似经典“辨识样板光圈”的方式，通过比对样品和“样板”的POWER差异，高效测试曲率半径。

如以上公式，先测试标准样板，尽量调整到“零”条纹；然后保持机构与夹具稳定不变，更换为样品，放置于夹具支撑之上。直接测试样品面形；基于两次测试的POWER差异，就能计算出样品相对于样板的“曲率半径误差”。

非标定制

恩迪数控的所生产装配的立式配置的斐索型(Fizeau)干涉仪调整平台，分为下视结构（上照式干涉仪）与上视结构（下照式干涉仪），主要特点：

• 天然花岗石运动结构；（结构可定制）

• 被动隔振系统；

• 升降平台：运行速度最大值不小于20mm/s，最小速度不大于1μm/s。以分辨率0.05μm，可以实现1μm步进。升降平台负载重量≥120kg，升降系统用具备自锁能力，能升起负载并锁定；（可定制）

• Z轴行程1200mm（行程可定制）；

• 控制轴运行：可独立手持操作盒触摸屏，操作盒触摸屏上有急停功能、轴加载/卸载使能功能、轴定位运行功能、轴相对运行功能、轴手动运行控制、各个控制运行模式的速度可以根据实际需求设定，所有的操作功能集成在手持操作盒触摸屏上。

• 可集成位移台。

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